排氣係統為鍍膜(mó)機真(zhēn)空係統的重要部分,主要有由機(jī)械(xiè)泵、增壓泵(主要介紹羅(luó)茨泵)、油(yóu)擴散泵三大部分組成。今天
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機械泵是(shì)應用最廣泛的一種低真空泵,它(tā)是用油(yóu)來保持密封效果並依靠機械(xiè)的方法不斷的改變泵內吸氣空腔的體積,使被抽容器(qì)內(nèi)氣體的體積不斷膨脹從而獲(huò)得真空。 機械泵有很多種,常用的有滑閥式(此主要應用於大型設備)、活(huó)塞往複式、定片(piàn)式(shì)和旋片式四種類型。 機械泵常常(cháng)被用來抽除幹燥的空氣,但不能抽除含氧量過高、有爆炸性和腐蝕性(xìng)的氣體,機械泵一(yī)般被用來抽除(chú)永久性的(de)氣體,但是對水氣(qì)沒有(yǒu)好的效果,所以它不能(néng)抽除水氣。旋片泵中起(qǐ)主要(yào)作用的部件是定子(zǐ)、轉子、彈片等,轉(zhuǎn)子在定子裏麵但與定子不同心軸,象兩個內切圓,轉(zhuǎn)子(zǐ)槽內裝有兩片彈片,兩彈片中間(jiān)裝有彈簧,保證(zhèng)了彈片緊緊貼在定子的內壁。
它的兩個彈片交替起著兩方麵的作用,一方(fāng)麵從進氣(qì)口吸進氣體(tǐ),另一方麵壓縮已經吸進的氣體,將氣體排出泵外。轉子每(měi)旋(xuán)轉一周,泵完成兩次吸氣和兩次排氣。當泵連續順時針轉動(dòng)時,旋片泵不斷(duàn)的通過進氣口吸入氣體,又從排氣口(kǒu)不斷的排(pái)出泵外,實現對容(róng)器抽氣的目的。為了提(tí)高泵的極限真空度,均將泵的定子浸在油裏麵這(zhè)樣,在各處的間隙中及有(yǒu)害空間裏麵(miàn)經常保持足夠的油,把空(kōng)隙填滿,所以油一方麵起到了潤滑作(zuò)用,另一方(fāng)麵又起了密封和堵塞縫隙及有害空間的作(zuò)用,防止氣(qì)體分子通過各種渠道反流(liú)到壓強低的空間去(qù)。
機械泵是從大氣(qì)開始工(gōng)作(zuò)的(de),它的主要參數有極限真空,抽氣速率,此為設(shè)計與選用機械泵的重要依據。單級(jí)泵可以將容器從大氣(qì)抽到1.0*10-1PA的極限真空(kōng),雙級機械泵可以將容器從大氣抽到6.7*10-2帕,甚(shèn)至更高。
抽氣速率,是指(zhǐ)旋片泵按額定轉數運轉(zhuǎn)時,單位時間內(nèi)所(suǒ)能排出氣體的體積,可以用下公式計算(suàn):
Sth=2nVs=2nfsL
fs表示吸氣結束(shù)時空腔截麵積,L表示空腔長度,係數表(biǎo)示(shì)轉子每旋轉一周有兩次排氣過程,Vs表示當轉子(zǐ)處於水平位置的時候,吸氣結束,此時空腔內的體積最大,轉速為n。
機械泵排氣的(de)效果還與電機的轉速及皮帶的鬆緊度有關係,當電機的皮帶比較(jiào)鬆,電機(jī)轉速(sù)很慢的時候,機械(xiè)泵的排氣效果也會變差,所以要經常保(bǎo)養,點檢,機械泵油的密封效果也需要常常點檢(jiǎn),油過少,達不到密封(fēng)效果,泵內會漏(lòu)氣,油過多,把吸氣孔堵塞,無法吸氣和排氣,一般,在油位在線下0.5厘米即可。