油（yóu）擴散泵的（de）應用（yòng）壓強範圍是10-1帕（pà）-10-7帕，它是利用氣體的擴散現（xiàn）象來排氣的，它具有結構簡單，操作方便，抽速大（dà）（最（zuì）高（gāo）可以達到10+5升/秒）等特點。油擴散泵主要由泵殼、噴嘴、導流管和加熱器（qì）組成（chéng），裏麵主要添加擴散泵油（日（rì）本的型號是D-704#），根據噴（pēn）嘴的多少可以（yǐ）分為單（dān）級泵和多級泵。 

        擴散泵底（dǐ）部內儲存有（yǒu）擴散（sàn）泵油，上部為進氣口，右側旁下部為出氣（qì）口，在工作時出氣口由機械泵（bèng）提供前置（zhì）壓強，機械泵充當前置泵。 

        當擴散泵的油（yóu）被（bèi）電（diàn）爐加熱時，產生的（de）油蒸汽提供前（qián）置壓強，機械泵充當前置泵。當擴（kuò）散泵油被電爐加熱時，產生（shēng）的油（yóu）蒸汽沿著導流管經傘形（xíng）噴嘴向下（xià）噴出。因噴嘴外麵有機械泵提供的1-10-1帕的真空，故油蒸汽可噴出一段距離，構成一個向出氣（qì）口方向運動的射流。射流（liú）最後碰上由（yóu）冷卻水（shuǐ）冷卻的泵壁，凝結為液體，流回（huí）蒸發器，即靠油的蒸發——噴射——凝結，重複循環來實現抽（chōu）氣的。 

         由（yóu）進氣口進入泵內（nèi）的氣（qì）體分子，一旦落（luò）入蒸汽流中，便獲得向下運動的動量，向下飛去，由於射流具有高的流速（約200米/秒），高（gāo）的蒸汽密度，且擴散（sàn）泵油具有高的分子（zǐ）量（300-500）故能有效的帶走氣體分子（zǐ），因此在射流的界麵內，氣體分子（zǐ）不可能長期滯留，且在射流界麵（miàn）的兩邊，被抽氣體有很大的濃度（dù）差，正是因為這（zhè）個濃度差被（bèi）抽（chōu）氣體能不斷的越過界麵，擴散（sàn）進入射流中，被帶往出口處，在出口處再由機械泵抽走。 

         擴散泵的油蒸汽壓是決定泵的極限真空的重要因素，因此盡量選用飽和蒸汽壓低的泵油，其化學特性要好。 

         擴散泵（bèng）不能單獨用來抽氣，一（yī）般要（yào）求泵的最大出（chū）口壓強為40帕。擴散泵的抽（chōu）速決定（dìng）於第一（yī）級噴嘴與泵體進氣口口徑間環形（xíng）麵積的大小，抽速不是一（yī）恒定的值（zhí），而是隨著進氣口的壓強（qiáng）而變（biàn）化的，當壓強（qiáng）在10-2～10-3帕的（de）時候，擴散泵的抽氣速度是最快的，當壓強小於（yú）5*10-4帕之後，擴散泵的抽氣速度最小，幾乎沒有抽氣能力（此（cǐ）時，進氣口的壓強較高，由於空氣的密度較大，使蒸汽流形成不了高（gāo）速射流以阻擋空氣的反擴散，所以抽速下降（jiàng））。 

        擴散泵在安裝前要清洗，之後才可以裝入擴散油，油（yóu）在加熱前，必須要先對泵抽真空，停機前要先將（jiāng）擴散泵油冷（lěng）卻到60～70攝氏度，才可以關（guān）閉前級抽氣，最後關冷卻水。 

       由於（yú）油擴散泵是無（wú）法杜絕有返油的幾率，那麽沒有辦法保證（zhèng）精（jīng）密產品（pǐn）的100％純淨，特別是半導體行業，所以就有“高真空冷凝泵＋低真空機械泵”所組成的無油真空係統，冷凝泵組成的排氣係統不僅排氣效率（lǜ）極高，而且有效保證真空腔的清潔，保證（zhèng）產（chǎn）品的質量（避（bì）免產品被汙染、增強膜層與基板之（zhī）間的附（fù）著力），但是其維護成本非常的高，造價昂貴，所以（yǐ）普及率沒有油擴散泵廣泛。 

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