彩色係膜層和常規色膜層區（qū）別就是C值（zhí）和H值（zhí），所以可以說，黑（hēi）色也是彩（cǎi）色係膜層。

鋯（gào）＋氮氣：黃綠調金黃色
鋯＋甲烷：深淺黑色
鋯＋氧氣：白（bái）色、透明膜（mó）
鋯＋氮氣＋甲烷：金色（sè）、仿玫瑰金

鉻＋甲烷：深淺黑（hēi）色
鉻＋氮氣：淺黑色
鉻（gè）＋氮氣＋甲烷：銀灰色
鉻＋氧氣：輕黃色、紫色、綠色（sè）

SUS＋氧氣：紫色
SUS＋氮氣：藍（lán）色
SUS＋甲烷：亮黑色
SUS＋甲烷（wán）＋氮氣：藍黑（hēi）色

矽＋氮氣：黑色
矽（guī）＋氧氣：混濁（zhuó）白、透（tòu）明膜
矽＋甲烷：黃色、綠色、藍色（sè）、黑色(靶材純度高於99%僅能調黑色（sè）)

鈦＋氧氣：光學膜七（qī）彩截色（sè），不多介紹都懂。
鈦＋甲烷（wán）：深淺黑色( DLC製備不能達標)
鈦＋氮氣：仿金色、黃銅（tóng）色、紫色、紅色
鈦（tài）＋氮氣＋甲烷：仿玫（méi）瑰金、黑（hēi）綠色（sè）、複古黃、棕色（sè）、紫色（sè）

鎢＋氮（dàn）氣：棕（zōng）黃色
鎢＋甲烷：深淺黑色
鎢＋氧氣：紫色，鮮黃色，棕色，藍色

以上（shàng）僅裝飾薄膜（mó）常用材料及其常用氣體，通常甲烷和乙炔都可互替，但涉及部分顏色甲烷效果更好（hǎo）。

下一個（gè）：磁控（kòng）濺射過（guò）程中常（cháng）見問題的（de）解決方案