真空鍍膜塗層膜厚(hòu)測量方式?
作者: 來源: 日期:2021-07-14 12:19:06 人氣(qì):2678
我們日常生活中(zhōng),很(hěn)多生活物品都經過鍍膜機鍍上了一層膜層,讓產品不僅(jǐn)變得更美觀,也更實用。但(dàn)是很(hěn)多人會有一個疑問,那既然(rán)是鍍了一層膜層,薄(báo)膜肯定是有厚度(dù)大小(xiǎo)的,那麽薄膜厚度具體多厚呢,以及(jí)怎麽去測量?
薄膜必須沉積在基底之上, 所以離開了基片也就無從談薄(báo)膜沉積的問題。基片的清洗好壞又對薄(báo)膜的質最有極共重(chóng)要的(de)影響。同時(shí)在薄膜的製作中還必須知道薄膜的厚度,脫離了薄膜的厚度來談薄膜(mó)性質的測最也是亳無(wú)意義的。 所以, 膜厚的(de)測(cè)量(liàng)和基片的清洗可以說是和薄膜製作相關的(de)重要技術。一般所謂的厚度是指兩個完全平整的平行平麵之間(jiān)的距離,這個概念是一個幾(jǐ)何(hé)概念。
理想的薄膜厚度是指基片表麵和薄膜表麵之間的距離。在薄膜形貌的三維度量中,相對(duì)於薄膜的厚度來講,其他兩維的(de)度量可(kě)以(yǐ)說是(shì)無窮大。由於實際上存在的(de)表麵是不平整和不連續的(de),而且薄膜的內部還可(kě)能存在著氣孔、雜質、晶格缺陷和表麵吸附分子等等(děng),所有要嚴格地定義和精(jīng)確地測量薄膜的厚度實際上是很困難的。
膜厚的定義位當根據測址的方法和測(cè)址的目的決定。 因此,同一個薄膜,使用不同的測量方法會得(dé)到不同的結(jié)果, 即不(bú)同的厚度。
在薄膜油(yóu)測量中的表麵並不是一個幾(jǐ)何的概念,而是一個(gè) 物埋概念,是指表麵分子(原子)的集合。 平均表麵(miàn)是指(zhǐ)表麵原子所有的點到這個麵的距離代數和等於零, 平均表麵是一個兒何概念。
我們通常將基(jī)片的一側的表麵分子的集合的平均表麵稱為基片表麵;薄膜上(shàng)不和基片接觸的那一(yī)側的表麵的平均表麵稱為薄膜的形狀表麵,將所測量(liàng)的薄(báo)膜(mó)原子重新排列,使其密(mì)度和(hé)大(dà)塊狀固體材料完全一樣且均勻(yún)的分布在基片表麵上,這時平均表(biǎo)麵稱為薄膜(mó)質(zhì)量等價表麵;根據所(suǒ)測量薄膜的物理性質等效為(wéi)一種長度和寬度與所測量的薄膜一樣的大塊固體材料的薄膜,這時的平(píng)均表麵稱為(wéi)薄膜物性等(děng)價表麵。 形狀膜(mó)厚是比較接近於直觀形式的膜厚, 通常(cháng)以µm為單位; 質量膜(mó)厚反映了薄膜中包含物質為多少,通常 以 µg/cm#8217;為單位, 物性膜厚在(zài)實際使用上較有用, 而且比較容易(yì)測量。
由於實際表(biǎo)麵並不平整,同時薄膜製作過程中(zhōng)又不可(kě)避免地要有各種缺陷、 雜質和吸(xī)附分子等存在,所(suǒ)以不管用哪 一種方法來定義和測量膜厚,都是一個平(píng)均(jun1)值,而且足包括了雜質、缺陷以(yǐ)及吸附分子在內的薄膜的厚度值。
真空(kōng)鍍膜機(jī)鍍膜是在真空腔體下進行鍍膜的,對於測量膜厚度來說,是需要這方(fāng)麵專業的測量儀才能測出厚度大小。