真(zhēn)空蒸鍍、濺鍍、離子鍍
真空(kōng)鍍主要包(bāo)括真空蒸鍍、濺射鍍和離子鍍幾種類型,它們都是采用在真空條件下,通過蒸餾或濺射等方式在塑(sù)件表麵沉積各種金屬和非金屬薄膜,通過這樣的方(fāng)式可以得到非常薄的表麵鍍層,同時具有速度快(kuài)附著力好(hǎo)的(de)突出優點,但是價(jià)格也較高,可以進行操作的金屬類型較少,一般用來作較(jiào)高檔產品的功能性(xìng)鍍(dù)層(céng)。
真空(kōng)蒸鍍法(fǎ)是在高真空(kōng)下為金屬加熱,使其(qí)熔融、蒸(zhēng)發,冷卻後在樣品表麵形成(chéng)金屬薄膜(mó)的方法,鍍層厚度為0.8-1.2um。將成形(xíng)品表麵的微小凹凸部分填平(píng),以(yǐ)獲得(dé)如鏡麵一樣的表麵(miàn),無任是為了得到反射鏡作用而實施真(zhēn)空蒸鍍,還是對密接性較低的奪鋼進行(háng)真空蒸鍍時,都必須進行底麵塗布處理。
濺鍍(dù)通常指的是磁(cí)控濺(jiàn)鍍,屬(shǔ)於高速低溫濺鍍法。該工藝要求真空度在1×10-3Torr左右,即1.3×10-3Pa的真空狀態充入惰(duò)性氣體氬氣(qì)(Ar),並在塑(sù)膠基材(陽極)和金屬靶材(陰極)之間(jiān)加上高壓直流電(diàn),由於(yú)輝(huī)光放電(glow discharge)產生(shēng)的電子激發惰性氣體,產生等(děng)離子體,等離子體將金屬靶材的原子轟出(chū),沉積在塑膠基材上。一般金屬鍍膜(mó)大都采(cǎi)用直流濺(jiàn)鍍,而不導電的陶磁材料則使用RF交流濺鍍。
離子鍍是在真空(kōng)條件下,利(lì)用氣體放電使氣體或被蒸發(fā)物質部分電離,並在氣體離子或被蒸發物質離子(zǐ)的轟擊下,將蒸發(fā)物質或其(qí)反應物沉積在(zài)基片(piàn)上的方法。其中(zhōng)包括磁控濺射離(lí)子鍍、反應離(lí)子鍍、空心(xīn)陰極放電離子鍍(空心陰極蒸鍍法)、多弧離子鍍(陰極電弧離子鍍)等。