對於真空(kōng)鍍膜機設備的分類,到底了解多少?
真空鍍膜機主要指一(yī)類需要在較高真(zhēn)空度下進行的鍍(dù)膜設備,包括真空離子蒸發鍍膜機、磁控濺(jiàn)鍍膜(mó)機(jī)射(shè)、
MBE分子束外延鍍膜機和PLD激光濺射沉積鍍膜機等很多種。
主要是分成蒸發和濺射兩種。
在真空鍍膜設備中需要鍍(dù)膜的被成為基片,鍍的材料被成為靶材。
基片與靶材同在真空腔中。
蒸發鍍膜一(yī)般是加熱靶(bǎ)材使表麵組(zǔ)分以原子團(tuán)或離子形式被蒸發出來(lái),並且(qiě)沉降在基片表麵,通過成膜過程(chéng)形成薄膜。
真空鍍膜(mó)機對於濺射類鍍膜,可以簡單理解為利用電子(zǐ)或高能激光(guāng)轟擊靶材,並使表麵組分以原子團或離子形式被濺射出來,
並且最終沉(chén)積在基片表麵,經曆成膜過程,最終形成薄膜(mó)。爐體可選擇由不鏽鋼、碳鋼或它們的組合製成的雙層(céng)水冷結構。
根據工藝要求選擇(zé)不同規格及類型鍍膜設備,其類型(xíng)有電阻蒸發真(zhēn)空鍍膜設備、電子束蒸發真空鍍膜設備、
磁(cí)控濺射真空鍍膜(mó)設備(bèi)、離子鍍真空鍍膜設備、磁控反應(yīng)濺射真空鍍膜設備、空心陰極離子鍍和多弧(hú)離子鍍等。
夾具運轉形式有自轉、公轉及公轉+自轉(zhuǎn)方式,用(yòng)戶可根據片尺寸及形狀(zhuàng)提出(chū)相應要求,轉動的速(sù)度範圍及轉動精度:普通可調及變頻(pín)調速等(děng)。