濺射(shè)靶材(cái)具有高純度、高密度、多組草莓污视频在线看、晶粒均勻等特(tè)點,一般由靶坯和背板組成。
靶坯屬於濺射靶材的核(hé)心部(bù)分(fèn),是(shì)高速離子束流轟擊的(de)目標材(cái)料。
靶坯被離子撞擊後,其表麵原(yuán)子被濺射飛散出來並(bìng)沉積於基板上製成電子薄膜(mó)。
由於高純度金屬強(qiáng)度較低,因此濺(jiàn)射靶材需要在高電壓、高真空(kōng)的機台(tái)環境內完成濺射過程。
超高純金屬的濺射靶坯需要與背板通過不同的焊接工藝進行接合,背板起到主要起到固定濺射靶材的作用(yòng),且需要具備良好的導電、導熱性能。