低真空的獲得  

獲得低真空常采用機械泵，機械泵是運（yùn）用機械方法不斷地改變泵內吸氣空腔的體積，使（shǐ）被抽容器（qì）內氣體的體積不斷膨脹，從而獲得（dé）真空的裝置。

它可以直接在大氣壓下開（kāi）始（shǐ）工作，極限真空度一般為1.33-1.33x10-2pa, 抽氣速率與轉速及空腔體積（jī）V的大小（xiǎo）有關，一般在每秒幾升到每秒幾十升（shēng）之間。

高真空（kōng）的獲得 

目前，廣泛（fàn）使用的獲（huò）得高（gāo）真空的泵（bèng）就是擴散泵。擴散泵是利用氣體擴（kuò）散現象來抽氣的，它不（bú）能（néng）直接在大氣壓下工作（zuò），而需要一定的預備真（zhēn）空度（1.33-0.133Pa）。

油擴散泵的極限真空度主要取決於油蒸汽壓和氣體分（fèn）子的（de）反擴散，一般能達到1.33x10-5---1.33x10-7pa。 抽氣速率（lǜ）與結構（gòu）相關，每秒幾升--幾（jǐ）百升不等（děng）。