1. 電（diàn）阻蒸發源蒸鍍發  


A. 加熱：高熔點金（jīn）屬做成適當形狀蒸發源，電（diàn）流（liú）通過直接加熱。 


B. 優（yōu）點：結（jié）構簡單、造價便宜、使（shǐ）用（yòng）可靠


C. 缺（quē）點：所能到到的最高（gāo）溫度有限，加（jiā）熱器壽命較短


D. 適合：熔點不太高，尤其對膜層質量（liàng）要求（qiú）不大高的大（dà）批量生產。 


 2. 電子（zǐ）束蒸發源蒸鍍發 


A. 蒸發材料放入冷水鉗（qián）鍋中，利用電子束（shù）加熱


B. 優（yōu）點：獲得更大能量密（mì）度，使高熔點材（cái）料蒸發且速度快，膜的純度較高，熱效率高。


C. 分類：環形槍，直（zhí）槍，e型槍和空心（xīn）陰極槍（qiāng）等幾種。


D. 適合：高熔點，純度要求高的材料。

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