微信掃一掃 關（guān）注浦草莓污视频在线看最新動態！等離子（plasma）是除固體、液體、氣體之外的第四（sì）種物質狀態，主要（yào）是由氣體（tǐ）在高電磁場作用下（xià）發（fā）生解離，形成一種包括（kuò）電子（帶負電），正離子（帶正電），自由基和中性氣體（tǐ）分子組成的高活性物質，通產情況下會（huì）發（fā）光（guāng）。
一般情況下，等離（lí）子中的正電荷數等於負電荷數，所以整（zhěng）體呈電中性（Quasi-neutral）。日常生活中（zhōng）見到的閃電、日光燈、霓虹燈就（jiù）是等離子體發光現象。
等離子的產（chǎn）生有很多種（zhǒng）方法（fǎ），但生（shēng）成和維持都需要外部能量的輸入。
電子從外加電磁場獲得能量，然後發生非彈性碰（pèng）撞產生激發（excitation）、解離吸附（dissociative attachment）、解離（dissociation）、離子化（ionization）、在結合（recombination）反（fǎn）應，由此產生二次電子、原子、分子、離子等物（wù）質，然而（ér）在解離碰撞中，電子可能與氣體（tǐ）離子有再結合作用，或者因為漂移及（jí）擴散而離開電磁場（chǎng）範圍（wéi）等原因消（xiāo）失（shī），因此當電子產生與消失（shī）的速率相等時，此時的plasma即為穩定狀態。這裏列舉四種ETCH常用產生plasma的方法，後麵會詳解介紹。
三、等離子體的參數 plasma parameters
平均自由路徑（Mean Free Path，MFP）：
粒子與粒子碰撞前能夠（gòu）移動的平均距離。MFP與環境壓力P呈反（fǎn）比，壓力（lì）越高，MFP越短，壓力約低，MFP越長，這就（jiù）是為什麽plasma產生要在低壓近似真空環境（jìng）下產生，因為在大氣（qì）壓力下（760Torr），電子的MFP很短，很難獲得足夠的能力來使用氣體離子化。