真空鍍膜機是目前製作真空條件(jiàn)應用最為廣泛的真空設備,一般用真空(kōng)室(shì)、真空(kōng)機組、電氣控製櫃三(sān)大工作原理。
真空主題(tí)--真(zhēn)空腔根據加工產品要求的各異,真空(kōng)腔的(de)大小也不一樣,目前(qián)應用最多的有直徑0.9M、1.3M,1.5M、1.8M等(děng),腔體由不鏽鋼材料製作,要求不生鏽、堅實等,真(zhēn)空腔(qiāng)各部分有鏈接(jiē)閥,用來鏈接各抽氣泵浦。
輔(fǔ)助抽氣係統:排氣係統為鍍膜機真空係統的重要部分,主要有由機械泵、增壓泵(主要介(jiè)紹羅茨(cí)泵)、油擴散泵三大部分組成,此排氣係統采用“擴散泵+機械泵+羅茨泵(bèng)+低溫冷阱+polycold組成”。
排氣流(liú)程為:機械泵先將(jiāng)真空腔抽至2.0*10-2pa左右(yòu)的低真空(kōng)狀態,為擴散泵後(hòu)續抽真空提供前提,之後當擴散泵(bèng)抽真空的時候,機械泵又配合油擴散泵組成串聯,已這樣的方式完成抽氣(qì)動(dòng)作。
機械泵:也叫前級泵(bèng),機械泵是應用最廣泛的一種低真空泵,它(tā)是用油來保(bǎo)持密封效果並依靠機械的方法不斷(duàn)的改變泵內吸氣空腔的體積,使(shǐ)被抽容器內氣體的體積不斷膨脹從而獲得(dé)真空。