1)、固定筒3 圓(yuán)筒形狀、大直徑、厚壁結構的設計和周向對稱的固定方式(shì),可保證其有(yǒu)足夠的強(qiáng)度和(hé)剛度,同時,還(hái)可阻止高溫濺射磨料對其(qí)內部(bù)零部件汙染,保證撥(bō)動盤15 轉動的靈活性。
2)、圓形軸承(chéng)座2 的設(shè)計,保證軸承座(zuò)安裝的密封性和垂直度;增大軸1 的直徑(jìng)尺(chǐ)寸,加大軸承座2 中兩軸(zhóu)承的安裝間距,提高其自身的強度和剛度,保證轉動過程中軸1 的剛度和撥(bō)動盤15的旋轉靈活性、位置重複的一致性(xìng)。
3)、裝載換(huàn)位機構,通(tōng)過擴大支承盤16 的直徑,使該機構在平麵方向的有效麵積增大(dà),可安(ān)裝直徑大(Φ26.5mm)的比較片,有利於光路調(diào)整,提高光學薄膜質量;比較片12 由單(dān)片玻璃作為一個比較片單草莓污视频在线看,比較片采用空間立體疊(dié)加安裝方式(shì),多片玻璃疊加安裝在一個比(bǐ)較片存儲筒13 內,實現(xiàn)一次可放置50~100 片比較片,解決
鍍膜(mó)機鍍製多層精密光學薄膜,比(bǐ)較片數量少影響鍍膜層數和精度的問題。
4)、定位盤6 與槽型光藕17 的配合(hé),通過(guò)槽型光藕來感知定(dìng)位盤上三個均分的120°狹縫,控(kòng)製電機轉動停止。軸1 旋轉定位重複的一致性得到保證,帶動撥動盤15 完成準確的撥片動作。
5)、 轉動密封饋入機構引入威爾遜密封機構(gòu)5,既保證電機9 通過齒輪(lún)齧合帶動軸1 的(de)靈活轉動,又(yòu)保證真空室(shì)對外部的密封作用。優化設計的真空鍍膜機多片式比(bǐ)較片(piàn)裝置(zhì),其特點:(1)結構簡單,強度高,可(kě)靠性好(hǎo);(2)比較片裝載數量大,生產效率(lǜ)提高(gāo),可鍍製超多層精密光學薄膜;(3)比較片直徑增大,提高薄膜監(jiān)控的精度,降低對硬件係統的要求,係統容(róng)易實現自動控製;(4)維護(hù)保養(yǎng)費用低。
通過對真空鍍膜機(jī)多片式比較片裝置的優化(huà)設計(jì),保證了比較片機構撥片轉動的靈活性和重複的一致性,解決了比(bǐ)較片有效麵積(jī)小,光路調整不方便,光信號信噪比(bǐ)差的(de)問題,又(yòu)解決了比較片裝載數量(liàng)少的問題,可以使(shǐ)現有的真空鍍膜機鍍製(zhì)光學薄膜的質量大大提高,並且30 層以上的光學薄膜得以鍍製完成。實踐證明此比較(jiào)片結構是有用的,可以在現代的光(guāng)學真(zhēn)空鍍膜(mó)行業(yè)進行推廣和實施(shī),