CJ係列磁控(kòng)濺射真空鍍膜機
日(rì)期:2016-01-16 13:28:37 人氣:83702
CJ係列磁控濺射真空鍍膜機的磁控濺射工作原理,所謂“濺射”就是用荷(hé)能粒子(通常用氣體正離子(zǐ))轟擊(jī)物體,從而引起物體表麵原子從母體中逸(yì)出的現象。早在1842年Grove在(zài)實驗室中就發現了這種現象。磁控濺射(shè)靶采用靜止(zhǐ)電磁場,磁場為曲線形,均勻電場和(hé)對數電場則分別用於平麵靶和同軸圓柱(zhù)靶。電子在電場作用下,加速飛向基片的過程中與氬原子發生碰撞。若電(diàn)子具(jù)有足夠的能量(約為30ev)時,則電離出Ar+並(bìng)產生電子,電子飛向基片,Ar+在電場作用下,加速飛向陰(yīn)極(濺射靶(bǎ))並以高能量轟擊靶表麵,使靶材發生(shēng)濺射。
廣泛應(yīng)用於家電電器、鍾表、高爾夫球頭、工藝美術品、玩(wán)具(jù)、車燈反光罩(zhào)、手機按鍵外殼以及儀器儀(yí)表、塑料、玻璃、陶瓷、磁磚等表麵裝飾性(xìng)鍍膜及工模具的功能塗層,在鍍製超黑膜、純金裝(zhuāng)飾(shì)膜、導電膜等領域有優勢。
1)、膜(mó)厚可控性和重複性好。能夠可靠的鍍製預定厚度的薄膜,並且濺射鍍膜可以在較大的表麵上獲得厚度均勻的膜層;
2)、薄膜與基片的附著力強。部分高能量的濺射原子產生不同程度的注入現象(xiàng),在基片上(shàng)形成一層濺射原子與基片原子相互溶(róng)合的(de)偽擴散層;
3)、製備特殊材料(liào)的薄膜,可以使用不同的材料(liào)同(tóng)時濺射製(zhì)備混合(hé)膜、化合膜(mó),還可濺射成TiN仿(fǎng)金膜;
4)、膜層(céng)純度高,濺射膜層中不(bú)會混入坩鍋加熱器材(cái)料的成份。
5 )、裝備低溫離(lí)子輔助源,無需加熱直接常溫冷(lěng)鍍成膜,節能省電,提高產能。
CJ係列(liè)磁控濺射真空鍍膜機(jī) | | | | | |
型號 | CJ-600 | CJ-800 | CJ-1000 | CJ-1200 | CJ-1400 | CJ-1500 | CJ-1600 |
真空(kōng)室尺寸 | Φ600×800MM | Φ800×1000MM | Φ1000×1200MM | Φ1200×1400MM | Φ1400×1600MM | Φ1500×1500MM | Φ1600×1800MM |
真空機組 | KT400擴散泵機組 | KT500擴散泵機組 | KT800擴散(sàn)泵機組 | KT630擴散泵機組 | 雙KT630擴(kuò)散泵機組 | 雙KT630擴散泵機組(zǔ) | 雙KT630擴散泵機組 |
鍍膜係統 | 直流或(huò)中(zhōng)頻電源、鍍膜輔助離子專用電源 |
充氣係統 | 質(zhì)量流量計 | 質量流量計 | 質量流量計 | 質量流量計 | 質量流量計 | 質量(liàng)流量計(jì) | 質量流量計 |
控製(zhì)方式 | 手動或(huò)全自動 | 手動或全自動 | 手動(dòng)或全(quán)自動 | 手動或全自動 | 手(shǒu)動或全自(zì)動 | 手動或全自動 | 手動或全自動(dòng) |
極(jí)限真空 | 5X10-3Pa | 5X10-3Pa | 5X10-3Pa | 5X10-3Pa | 5X10-3Pa | 5X10-3Pa | 5X10-3Pa |
備注 | 以上設備(bèi)參數僅做參(cān)考,具體均按客戶實際(jì)工藝(yì)要(yào)求設計訂做 |