工(gōng)作原理(lǐ)
WJZ係列無(wú)介質獨立膜電阻(zǔ)蒸發真空鍍膜機的原理(lǐ)是在真空室(shì)中(zhōng)將金屬材料(鋁、鎳、錫等)利用電阻蒸發技術將材料汽(qì)化,汽化後的金屬分子產生飛逸沉積於基材的表麵上形成鋁、錫等純金屬薄膜層(céng),出爐後將膜層從特別的基材表麵可輕輕剝落,形成無介質獨立性的厚度為2-3μm,具有一定彈性、能夠隔離氣體和光線的(de)薄膜。
應用範圍
產品特點
技術參數表
WJZ係列無介質獨立膜電阻蒸發真空鍍膜(mó)機 | |||||||
型號 | WJZ-600 | WJZ-800 | WJZ-1000 | WJZ-1200 | WJZ-1400 | WJZ-1600 | WJZ-1800 |
真空室尺寸 | Φ600×800MM | Φ800×1000MM | Φ1000×1200MM | Φ1200×1400MM | Φ1400×1600MM | Φ1600×1800MM | Φ1800×2000MM |
真空機組(zǔ) | KT300擴散泵機組 | KT400擴散(sàn)泵(bèng)機組(zǔ) | KT500擴散泵(bèng)機組(zǔ) | KT630擴散泵機組 | 雙KT630擴散泵機組(zǔ) | 雙KT630擴(kuò)散泵機組 | 雙KT800擴散泵機組(zǔ) |
鍍膜係統 | 電(diàn)阻蒸發源+圓柱(zhù)磁控多弧(可選配) | ||||||
鍍膜(mó)輔助係統 | 低溫離子鍍膜電源 | ||||||
充氣係統 | 質量流量計(jì) | 質量流(liú)量計 | 質量流量計 | 質量流量計 | 質量流量計 | 質量流量計 | 質量流量計 |
控製方式 | 手動或全自(zì)動 | ||||||
抽氣速率(lǜ) | 5×10-3Pa﹤15min | 5×10-3Pa﹤15min | 5×10-3Pa﹤15min | 5×10-3Pa﹤15min | 5×10-3Pa﹤15min | 5×10-3Pa﹤15min | 5×10-3Pa﹤15min |
極限真空 | 3.0X10-4Pa | 3.0X10-4Pa | 3.0X10-4Pa | 3.0X10-4Pa | 3.0X10-4Pa | 3.0X10-4Pa | 3.0X10-4Pa |
備(bèi)注(zhù) | 以上(shàng)設備參數僅做參考,具(jù)體(tǐ)均按客戶實際工藝要求設計訂做 |