CJ係列磁控濺射真空鍍膜機
日期:2016-01-16 13:28:37 人氣:83703
CJ係列(liè)磁(cí)控(kòng)濺射真空鍍膜機的磁控(kòng)濺(jiàn)射工作原理,所謂(wèi)“濺射”就是用荷能粒子(通常用氣體正離子)轟(hōng)擊物體,從(cóng)而引起物體表麵原(yuán)子從母(mǔ)體中逸出的現象。早在1842年Grove在實驗(yàn)室中就發現了這種現象。磁控濺射(shè)靶采用靜止電磁場,磁場為曲線形(xíng),均勻電(diàn)場和對數電場則(zé)分別用於平麵靶和同軸圓柱靶。電子在(zài)電(diàn)場作用下,加速飛向基片的過程中與氬原(yuán)子發生碰撞。若電子具有足夠的能量(約為(wéi)30ev)時,則電離出Ar+並產生電子,電(diàn)子(zǐ)飛向基(jī)片,Ar+在電場作用下(xià),加速飛向陰(yīn)極(濺射靶)並以高能(néng)量轟(hōng)擊靶表麵(miàn),使靶材發生濺射。
廣(guǎng)泛(fàn)應用於家電(diàn)電器、鍾表、高爾夫球頭、工藝美術品、玩具、車燈反光罩、手機按鍵外殼(ké)以及儀器儀表、塑(sù)料、玻璃、陶瓷、磁磚(zhuān)等表麵裝飾性鍍膜及工模具的功能(néng)塗層,在鍍製超(chāo)黑膜、純(chún)金裝飾膜、導(dǎo)電膜等領域有優勢。
1)、膜厚可控性和重複性好。能夠可靠的鍍(dù)製預定厚度的薄膜,並且濺射鍍膜可以在較大的表麵上獲得厚度均勻的膜層;
2)、薄膜與基片的附著力強。部分(fèn)高能量的濺射原子(zǐ)產生不同程度的注入現象,在基(jī)片上形成一層(céng)濺射原子(zǐ)與基片原子(zǐ)相互溶合的偽擴散層;
3)、製備特(tè)殊材料的薄膜,可以使用不同(tóng)的(de)材料同(tóng)時(shí)濺射製備混合膜、化合膜(mó),還可濺射成TiN仿(fǎng)金膜;
4)、膜層純度高,濺(jiàn)射膜層中不(bú)會混入坩鍋加熱器材料的成份。
5 )、裝備低溫離子輔助源,無需加熱直接常溫冷鍍成(chéng)膜,節能省電,提(tí)高產能。
CJ係列磁控濺射真空(kōng)鍍膜機 | | | | | |
型號 | CJ-600 | CJ-800 | CJ-1000 | CJ-1200 | CJ-1400 | CJ-1500 | CJ-1600 |
真空室尺寸 | Φ600×800MM | Φ800×1000MM | Φ1000×1200MM | Φ1200×1400MM | Φ1400×1600MM | Φ1500×1500MM | Φ1600×1800MM |
真空機組(zǔ) | KT400擴散泵機組 | KT500擴散泵(bèng)機組(zǔ) | KT800擴散泵機組 | KT630擴散泵機組 | 雙KT630擴散泵機組 | 雙KT630擴散泵機組 | 雙KT630擴散泵機(jī)組 |
鍍膜係統 | 直流或中頻電源、鍍膜輔(fǔ)助離子專用電源 |
充氣係統 | 質量流量計(jì) | 質量流(liú)量計 | 質量流量(liàng)計 | 質(zhì)量流量計(jì) | 質量流量計(jì) | 質量(liàng)流量計 | 質量流量計 |
控製方(fāng)式 | 手動或(huò)全(quán)自動 | 手動或全自動(dòng) | 手動或全自動 | 手動或全自動 | 手動或全(quán)自(zì)動 | 手動(dòng)或全(quán)自動 | 手動或全自動 |
極限真空 | 5X10-3Pa | 5X10-3Pa | 5X10-3Pa | 5X10-3Pa | 5X10-3Pa | 5X10-3Pa | 5X10-3Pa |
備注 | 以上設備參數僅做參考,具體均按(àn)客戶實際工藝要求設計訂做 |