如何掌控真空鍍膜的(de)均勻性
作者: 來源: 日期:2023-04-10 14:44:49 人氣:2708
如何掌控(kòng)真(zhēn)空鍍膜的均勻性
我們先(xiān)來認識下怎麽調試鍍膜機,因為掌握調試鍍膜機是使用鍍膜機的(de)關鍵怎麽調試鍍膜機
1、測(cè)試設備的抽真空速度,在測試過程中檢查漏氣情況與各真空泵的性能(néng);
2、測試設備的密封性能,就是抽到極限後保壓1小時看壓降(jiàng)是否達標(biāo),同時排除細小的漏孔;
3、產品試作,檢驗其他的性(xìng)能,比如(rú)傳動、加熱、絕緣等(děng)等;
4、如果有工藝保(bǎo)證的話就繼續打樣並作測試。
5、所有的測(cè)試應作(zuò)記錄,並有記錄人簽字以及有使用部門或工程部門的人(rén)確認簽字
怎(zěn)麽掌控真空鍍膜的均勻性?
由於車燈鍍膜機原理的不同分為很多種類,僅僅(jǐn)因為都需要高真空度而擁有統一名稱。所以對於不同原理的真空鍍膜,影響均勻性的因素也不(bú)盡相同。並(bìng)且均勻性這個概念本身也會隨著鍍膜尺度和薄(báo)膜成分而有著不同的意義,下麵分別說一(yī)下:
均勻性主要體現(xiàn)在3方麵:
1、厚度上的均勻性,也可(kě)以理解為粗糙度(dù),在光學薄膜的尺度上看(也就是1/10波長作為(wéi)單位,約為100A),真空鍍膜的均勻性已經相當(dāng)好,可以輕鬆將粗糙(cāo)度控製在可(kě)見光波長的1/10範圍內,也就是說對於多弧離子(zǐ)鍍膜機(jī)的光(guāng)學特性來說,真(zhēn)空(kōng)鍍膜沒(méi)有任何障礙。但是如果是指原子層尺度上的均勻度,也就是說要實(shí)現10A甚至1A的表麵(miàn)平整,是現在真空鍍膜中主要的技術(shù)含量與技術瓶頸所在。
2、化學組分上的均勻性:就是說在薄膜中,化合物的(de)原子組分會由(yóu)於尺度(dù)過(guò)小而很容易的產生不均勻特性,SiTiO3薄膜,如果濺控濺射鍍膜機過程不(bú)科學,那麽實際表麵的組分並不是SiTiO3,而(ér)可能是其他的比(bǐ)例,鍍的膜並非是想要的膜的化學成分,這也是真空鍍膜的技術含量所在。
3、晶格有序度的(de)均勻性:這決定了薄膜是單晶,多晶,非晶,是真空鍍膜技術中的熱點問題。
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