分析真空鍍膜機精密(mì)抽真空速度慢的原(yuán)因
作者: 來源: 日期(qī):2020-07-24 23:49:11 人氣:1348
分析真空鍍(dù)膜機精密抽真空速(sù)度慢的原(yuán)因
真空鍍膜機精度抽速慢的原因(yīn)主要從以下幾個方麵找到:
首先,擴(kuò)散(sàn)泵可能不是很好。
解決方法:可以用電(diàn)離計測量(liàng)單擴散泵的泵口,看單擴散泵的抽吸能達到多少,再看抽吸時間(jiān)和極限,然後比較。
二、真空係統有輕微漏氣(qì)。
解決方法(fǎ):需慢慢檢測泄漏,看(kàn)抽真(zhēn)空時(shí)間是否能達標。
三、箱子太髒,太髒的氣體大。
解決方法:清洗紙箱
四、前級真空度不好,機械泵或機械泵加羅茨泵的終 極真空度不好。
解(jiě)決方法:可單獨用電阻(zǔ)計檢測前管。