工作原理
應用範圍
產品特點(diǎn)
技術參數表(biǎo)
HLB係列大型板材(cái)管材真空鍍膜機(jī) | |||||||
型號 | HLB-1800 | HLB-2000 | HLB-3000 | HLW-2000 | HLW3000 | HLW-4000 | HLW-5000 |
真空室尺寸 | Φ1800×2000MM | Φ2000×2000MM | Φ3000×3000MM | Φ2000×6000MM | Φ3000×6000MM | Φ4000×8000MM | Φ5000×10000MM |
真空機組 | 雙KT800擴散泵機組 | 雙KT1000擴散泵機組 | 雙KT1000擴散泵機組*2套 | 雙KT1000擴散泵機組 | 雙KT1000擴(kuò)散泵機組*2套 | 雙KT1000擴散泵機組*2套 | 雙KT1000擴散泵機組*4套(tào) |
鍍膜係(xì)統 | 專用(yòng)多弧鍍膜電源+多功能孿生磁環弧靶+柱形弧靶(可選配(pèi)) | ||||||
輔助鍍膜係統 | 低溫離子輔助源(除工具(jù)鍍外(wài)無(wú)需加溫係統) | ||||||
充氣係統 | 質量流(liú)量計(jì) | ||||||
控(kòng)製方式 | 手動或全自動 | ||||||
抽氣速率 | 5×10-3Pa﹤15min | 5×10-3Pa﹤15min | 5×10-3Pa﹤15min | 5×10-3Pa﹤15min | 5×10-3Pa﹤15min | 5×10-3Pa﹤15min | 5×10-3Pa﹤15min |
極(jí)限真空 | 5.0X10-4Pa | 5.0X10-4Pa | 5.0X10-4Pa | 5.0X10-4Pa | 5.0X10-4Pa | 5.0X10-4Pa | 5.0X10-4Pa |
備(bèi)注 | 以上(shàng)設備參數僅做(zuò)參考,具體均按客(kè)戶實際工藝要求設計訂做 |