真空鍍（dù）膜機精抽太（tài）慢主（zhǔ）要（yào）從以下（xià）幾個方麵進行原因查找（zhǎo）：
　一、擴散泵可能不（bú）太給力。
　解決辦法：可以用電離規單（dān）接到（dào）擴散泵泵口，看擴散泵單抽能達到多少，要看抽的時間和極限，然後進行對（duì）比。
    二、真空係統有微漏。
　解決辦法：這就需要慢慢檢漏，看看保真空時間能不能達不（bú）達標。
　三、箱體太髒，太髒放氣量就大（dà）了。
　解決辦（bàn）法：清（qīng）洗（xǐ）箱體
　四、前級真（zhēn）空度不（bú）行，機械泵或機械泵加羅茨泵的極限真空不行。
　解決辦法：可以用電阻規單獨檢測前級管道。

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